由国际半导体设备及材料协会(SEMI)主办的国际半导体上海展SEMICON CHINA 2011与慕尼黑光电展同期在上海新国际博览中心举行。SEMICON China2011展会是SEMI，SEMICON China，FPD China及Intersolar China / SOLARCON Chin三大旗舰展览同台展出，代表全球半导体、平板显示和太阳能光伏行业最高技术水准和商业机遇。粗略统计有超过4万名专业人士参观了展览会。
新松机器人洁净自动化装备展台36平方米，主要展出大气机械手晶圆搬运平台（洁净度达到Class1），真空机械手晶圆搬运平台（真空度达到最高1x10-6 Pa），侧立柱大气晶圆搬运机械手，大负载真空搬运机械手。尤其是本次真空机械手的展出，在展会引起强烈的反响，不仅吸引了国内同行业的关注，还引起了国外美国，韩国，日本，台湾的同行业的关注，多家客户有购买意向。新松机器人洁净自动化装备产业的展出展品完全拥有自主知识产权和核心技术，技术水平国内领先，达到国际先进水平，标志突破国外技术封锁，中国能制造自己的半导体关键设备。
中国半导体产业预计在未来五年内迎来下一个快速发展的“黄金时期”。在中国政府的“十二五”规划中(2011-2015)，明确提出要建立和加强中国半导体产业从设计到制造的整体供应链，以满足中国市场蓬勃发展的需求，新松公司装备制造的角度出发，以当前中国市场应用为导向，为半导体制造提供强有力的服务和技术支撑。
洁净自动化装备产业是不仅国内对自动化洁净传输系统有着稳步增长的市场需求，全球平板显示洁净自动化装备的需求在未来三年的总和将超过1500亿元，因此投资前景十分广阔，创造了巨大的经济效益和社会效益。主要应用领域有IC装备、平板显示、电子、生物制药和食品等行业，能够为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程。
洁净自动化装备产业目前应用主要客户四川长虹、安徽鑫昊、北方微电子、中国科学院微电子研究所、中国科学院半导体研究所、中科信（北京）、清华大学、沈科仪、沈阳芯源等多家单位。本次展出，有上百家客户与新松公司进行了业务洽谈。
新松公司的新兴主导产业之一。洁净自动化装备产业产品主要有洁净搬运机器人系统和洁净物流自动输送设备。洁净搬运机器人系统主要有IC装备大气机械手系列产品、IC装备真空机械手系列产品、FPD基板洁净搬运垂直多关节机器人系列产品（可搬运2mX2.4m尺寸平板）、FPD基板洁净搬运水平多关节机器人系列产品（可搬运2mX2.4m尺寸平板）、洁净镀膜搬运机械手、洁净装箱机械手、半导体设备前端模块设备（EFEM）、晶圆自动对准装置（Aligner）。IC装备大气机械手系列产品主要有单臂大气机械手、双臂大气机械手、双末端执行器的大气机械手、末端执行器可侧向翻转大气机械手产品、侧立柱大气机械手产品。IC装备真空机械手系列产品主要直驱型真空机械手、磁流体型真空机械手、对称连杆型真空机械手、SCARA型真空机械手。
洁净物流自动输送设备主要生产线自动物料搬运设备（AMHS）、FPD洁净物流传输设备、FPD前后基板机器人投入设备。生产线自动物料搬运设备（AMHS）主要包括洁净Stocker、洁净轨道系统、天车（OHS）、天井式搬运车（OHT）、洁净RGV、洁净RGV及外接装载设备（LoadPort或Cassette Loading）。FPD洁净物流输送设备主要单元包括：直线传输单元（C/V）、翻转单元（Diverter）、换向单元（Turn table）、对中单元（Centering）、提升单元（Up down lift）、机器人抓取单元（Pin-up）、缓冲单元（Buffer）、倾斜检查单元（Tilt）、冷却（Cooling）单元等单元组成。
FPD前后基板机器人投入设备主要包括基板搬运洁净搬运机器人、基板捆包旋转装置、取纸机械手、机器人抓取（Pin-up）单元组成。
早在2005年，新松公司就开始在IC装备投放科技力量进行攻关，经过多年的研发和创新，已经研发出应用于半导体行业的核心部件洁净（真空）机械手、基板搬运机器人等产品，并批量投放市场，市场反响良好。在“十二五”开局之年，新松公司重装参展SEMICON China 2011 半导体展，展示了现阶段新松公司在半导体装备制造业的整体实力。
毋庸置疑，中国的半导体时代正向我们走来，新松公司将领先的技术、优质的产品携手中外厂商，共同迎接这个时代的到来。